厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。

3、辅助系统的设计

气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。

厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，真空炉泄漏检测，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。

高纯气体系统种类：

简单供气系统

简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，LINAC 泄漏测试泄漏检测，对气体供应系统的投资预算低。

厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，冷凝器泄漏检测，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。

高纯供气系统功能：

可实现自动切换，龙岩泄漏检测，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空;多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。

高纯供气系统设计

1.材料的选择

特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。

龙岩泄漏检测-LINAC 泄漏测试泄漏检测-厦门太星机电由厦门太星机电有限公司提供。厦门太星机电有限公司为客户提供“真空泵,螺杆真空泵,水环真空泵,真空泵机组”等业务，公司拥有“太星机电”等品牌，专注于减速机、变速机等行业。，在厦门市集美区东安前占里19号之二的名声不错。欢迎来电垂询，联系人：黄经理。